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掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。前级泵继续对检漏接口抽真空，江苏密封性检漏仪品牌，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s，江苏密封性检漏仪品牌。氦质谱检漏仪的保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器，江苏密封性检漏仪品牌。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。质谱室是氦质谱检漏仪的心脏。江苏密封性检漏仪品牌

检漏仪的检漏原理：利用氦气是比氢气小的*二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些**的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。安徽真空衰减法检漏仪品牌推荐检漏仪在我国更多真空设备的检查之中得到了普遍的应用。

氦质谱检漏仪的校准方法：1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。2、校准仪器的选择，为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。

氦质谱检漏仪真空系统一般包括：1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏的仪器。

选购氦质谱检漏仪的注意事项：1、注意可测范围。由于氦质谱检漏仪的工作原理以及型号和规格不同，所以它的可测范围有着明显的区别，各位在选择氦质谱检漏仪时，要根据实际使用需求选择适合的产品。2、看氦质谱检漏仪是否具有稳定性。这是必须考虑的因素，零点偏移和全幅偏移的数值越小越好，因为可能有其他气体来干扰感应器，所以要抗干扰，稳定性好的。3、看氦质谱检漏仪可靠度是否良好。应定期检查氦质谱检漏仪是否处于正常工作状态，避免氦质谱检漏仪失灵情况的发生。当检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置应不同于被检测泄漏的位置。江苏密封性检漏仪品牌

检漏仪是利用氦气作为示漏气体，用气体分析仪对氦气进行检漏的质谱仪。江苏密封性检漏仪品牌

如何使用氦质谱检漏仪？1.氦质谱检漏仪的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检测气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而影响检测结果。2.为了正确使用氦质谱检漏仪，在充入检测气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦质谱检漏仪中的气体不能进入该部分，因此潜在的检测孔将只释放空气，氦质谱检漏仪不能检测到这些检测孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。江苏密封性检漏仪品牌

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