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掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，宣城密封检漏机，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪的保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网，宣城密封检漏机，宣城密封检漏机、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。选择氦质谱检漏仪要考虑的问题有哪些？宣城密封检漏机

检漏仪真空度不能提高的几个潜在原因：检漏仪的真空度抽不上去，首先确定是不是真的真空抽不上去，因为也有可能是真空计指示不对。真空计故障，如冷规的阳极和阴极短路，就会造成真空抽不上去的假象。这种情况，只要更换一个新的真空计，即可使检漏仪恢复正常工作。检漏仪的真空系统某部分出现了漏气。检漏仪自身产生漏气的情况大多是由于仪器在进行大拆卸情况下重新安装后，某个连接处没有拧紧而产生。如果是这种情况，较好是用分段查找的办法，将整个真空系统分隔成几段，一段一段地查找。先查机械真空泵有没有问题，再查机械泵到扩散泵或分子泵之间，较后再查扩散泵（或分子泵）以上部分。如果漏隙小，仪器还能基本工作的话，可以用仪器自身检查自身。镇江密封性检漏设备使用检漏仪要遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。

氦质谱检漏仪的极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空**、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。

检漏仪检漏时出现的故障：1、不向细检方式转换，检漏口压力<2×10-4MPa：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三较规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查三较规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大幅减少了环境的氦污染。检漏仪检漏时出现的故障：氦本底太高，检查机械泵油是否失效，检查仪器系统是否有漏。

氦质谱检漏仪的关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点，适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。检漏仪使用的方法取决于检验件的结构、检漏的经济效益和检漏系统的性质。苏州便携式检漏仪原理

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检漏仪对高纯气体管道进行测试的注意事项：确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到较后一个焊道或连接处。如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。宣城密封检漏机

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